近日,国内氟化工龙头企业多氟多新材料股份有限公司(以下简称“多氟多”)在投资者互动平台披露,公司G5级电子级氢氟酸产品已实现持续稳定批量供应,主要客户覆盖长鑫存储等国内主流半导体存储与晶圆制造企业。这一突破标志着我国在超纯电子级氢氟酸领域自主供应能力再上台阶,对保障半导体产业链安全具有重要战略意义。

产品突破:G5级纯度达国际先进水平

电子级氢氟酸是半导体湿法工艺中的关键化学试剂,广泛应用于晶圆清洗、蚀刻及减薄等环节。按照国际标准,电子级氢氟酸通常划分为G1至G5五个等级,其中G5级代表最高纯度规格,要求金属杂质含量低于0.1ppb(十亿分之一),相当于在一万吨水中仅允许存在一粒盐的污染量,制备难度极大。

多氟多此次批量供应的G5级电子级氢氟酸,其纯度指标已全面对标日本Stella、美国霍尼韦尔等国际一线品牌,部分关键杂质含量甚至优于进口产品。公司依托自主研发的“超纯氢氟酸制备关键技术及装备”,成功突破高品质萤石原料筛选、精馏提纯、超洁净灌装及痕量分析等全流程技术壁垒,实现了从原料到终端产品的全链条国产化。

客户拓展:深度绑定长鑫存储,辐射更广半导体生态

据多氟多透露,长鑫存储是国内领先的DRAM存储器制造商,其12英寸晶圆生产线对电子级氢氟酸的用量与品质要求极高。多氟多G5级产品进入长鑫存储供应链,并实现“持续稳定批量供应”,意味着产品已通过严苛的客户端验证考核,在一致性、批次稳定性及性价比方面获得认可。

除长鑫存储外,多氟多已陆续进入中芯国际、华虹半导体、士兰微等国内主要晶圆代工及IDM企业的供应商名录,并开始向部分国外半导体厂商提供样品测试。公司表示,目前电子级氢氟酸设计产能已达年产5万吨,其中G5级产品占比超过30%,产能利用率正随客户订单增长快速爬升。

行业意义:打破进口依赖,提升芯片制造自主可控

长期以来,全球高纯电子级氢氟酸市场被日本企业高度垄断,Stella、大金、森田化学三家合计占据全球约70%市场份额。国内半导体企业所用的G4及以上等级产品严重依赖进口,且时常面临供应不稳定、价格波动大、技术合作受限等困境。

“在半导体材料国产化替代浪潮中,电子级氢氟酸是绕不开的关键一环。”业内分析人士指出,随着国内12英寸晶圆厂集中投产,仅长鑫存储、长江存储、中芯国际等头部企业的年需求总量就超过10万吨。多氟多G5级产品的批量供应,不仅有效缓解了下游客户的采购压力,也为国内存储芯片、逻辑芯片等先进制程的产能释放提供了材料级保障。

未来布局:扩产提速,瞄准更高等级与特种品类

面对持续增长的市场需求,多氟多正在加快产能扩张与技术升级步伐。公司计划在现有5万吨电子级氢氟酸产能基础上,于河南焦作、云南昆明等地新建生产基地,预计至2024年底总产能突破10万吨。同时,公司已启动G6级(金属杂质<0.01ppb)电子级氢氟酸的研发与中试,并布局用于先进封装、第三代半导体等领域的特种氢氟酸复配产品。

“从跟跑到并跑,再到在某些细分领域领跑,这是中国氟化工产业必须走的路。”多氟多相关负责人表示,公司将持续加大研发投入,协同下游客户共建半导体材料验证与应用联合实验室,进一步缩短新产品的导入周期。

目前,电子级氢氟酸已被列入国家《重点新材料首批次应用示范指导目录》,多氟多等龙头企业正通过技术迭代和规模化生产,推动国产电子级氢氟酸的成本下探与性能提升。随着国内半导体产业链协同效应加速释放,中国在高端电子化学品领域的全球话语权有望持续增强。