近日,国内特种气体领军企业金宏气体(688106.SH)发布公告称,其旗下高纯二氧化碳产品已顺利通过国际半导体巨头SK海力士的第三轮严格测试,并正式进入批量供应阶段。这一里程碑式的突破,不仅标志着金宏气体在电子级特种气体领域的技术实力再获国际认可,也意味着中国高纯气体在高端半导体产业链中的自主替代进程迈出关键一步。
层层闯关:三轮测试验证极致纯度
据金宏气体相关负责人透露,SK海力士对供应商的筛选极为严苛,通常包含技术评审、样品验证、小批量试产及长期稳定性评估等多个环节。此次针对高纯二氧化碳的测试共分三轮:首轮为纯度和杂质含量检测,要求产品纯度达到99.9999%以上(即6N级别),且金属离子、颗粒物等关键指标必须控制在十亿分之一量级;第二轮聚焦气体在光刻、刻蚀等实际工艺中的表现,评估其对晶圆良率的影响;第三轮则是长期供货稳定性测试,模拟量产条件下连续供应的品质一致性。
“第三轮测试周期长达数月,涉及数十批次产品的连续交付与在线监测。”上述负责人表示,“最终,金宏气体的高纯二氧化碳在浓度稳定性、杂质控制及颗粒物指标上均优于客户技术规格,顺利通过全部考核。”
打破壁垒:半导体关键材料国产化提速
高纯二氧化碳作为半导体制造中的重要辅助气体,广泛应用于光刻胶去除、晶圆清洗、腔体吹扫等环节。随着芯片制程向5纳米及以下演进,工艺对气体纯度的要求呈指数级提升,微量的杂质可能导致电路短路或器件失效。长期以来,这一市场被林德、液化空气、大阳日酸等国际巨头垄断,国内企业鲜有涉足。金宏气体此次成功进入SK海力士供应链,意味着中国本土供应商已具备与国际巨头同台竞技的能力。
“海力士在全球DRAM存储芯片市场占据举足轻重的地位,其供应链标准代表着行业最高水准。”半导体产业研究专家分析认为,“金宏气体通过测试,相当于拿到了高端电子级气体市场的‘入场券’,后续有望向更多国内外头部晶圆厂拓展。”
战略布局:深耕电子特气,构建全品类矩阵
公开资料显示,金宏气体长期聚焦特种气体、大宗气体及电子级气体的研发与生产,是国内少数能够同时供应多种电子级气体的企业之一。近年来,公司持续加大研发投入,在超纯氨、高纯氢、高纯二氧化碳、电子级一氧化二氮等核心产品上实现技术突破,并先后通过中芯国际、长江存储、华虹半导体等国内主要晶圆厂的认证。2024年财报显示,公司电子特气业务收入同比增长超过40%,已成为业绩增长的核心引擎。
“SK海力士的认可,是对我们全链条品控体系的一次终极检验。”金宏气体董事长在近期投资者交流会上强调,“公司将继续围绕‘进口替代’战略,持续攻克5N、6N甚至更高纯度等级的气体产品,同时加快在离子注入、薄膜沉积等高附加值气体领域的布局。”
行业展望:国产化窗口期机遇与挑战并存
当前,全球半导体供应链正经历深刻重构,国内晶圆厂产能扩张为材料国产化创造了巨大市场空间。据机构预测,到2025年,中国半导体用电子特气市场规模将突破200亿元,但自给率仍不足30%。金宏气体此次进入海力士体系,不仅直接贡献业绩增量,更将显著提升中国电子特气产业的全球话语权。
不过,专家也提醒,气体供应商与晶圆厂之间通常存在长达数年的磨合期,且产能配套、长期质量稳定性仍是核心挑战。金宏气体需要迅速扩大高纯二氧化碳的产能规模,并建立更完善的本地化服务网络,以应对快速增长的订单需求。此次与海力士的合作,或将成为国内电子级气体从“可用”迈向“好用”的重要转折点。