近日,西安高新区再添半导体产业重要拼图——韩国BOBOO半导体关键耗材维修基地项目正式签约落地。该项目由韩国BOBOO株式会社投资建设,计划在西安高新区设立半导体关键耗材的维修、翻新及技术支持中心,旨在为国内晶圆制造企业提供高精度、高可靠性的耗材维修服务,进一步补强陕西半导体产业链关键环节。
项目概况:聚焦核心耗材维修,填补区域空白
据西安高新区管委会介绍,BOBOO半导体关键耗材维修基地项目总投资约5000万美元,一期占地约30亩,规划建设洁净维修车间、检测实验室、备件仓储中心及配套办公设施。项目重点聚焦半导体制造过程中使用的高价值关键耗材,如石英器件、硅电极、聚焦环、陶瓷喷嘴等,开展精密清洗、表面修复、尺寸检测及性能验证等业务。投产后,预计年维修能力可达10万件以上,可覆盖8英寸、12英寸晶圆生产线的主流耗材需求。
韩国BOBOO株式会社是国际知名的半导体设备耗材维修及备件解决方案提供商,长期为三星电子、SK海力士等全球领先半导体企业提供服务,在等离子刻蚀、薄膜沉积等核心工艺环节的耗材维修领域拥有多项专利技术和成熟工艺。此次在西安设立基地,是其首次将核心维修产能布局至中国中西部地区。
选址考量:产业链集聚与政策优势双重吸引
谈及为何落户西安高新区,BOBOO项目负责人表示,西安作为中国半导体产业的重要增长极,已形成涵盖设计、制造、封装、测试及设备材料的完整产业链。尤其是西安高新区集聚了三星、美光、奕斯伟等一批龙头晶圆制造企业,对关键耗材的本地化维修需求极为迫切。“过去,这些耗材往往需要寄回韩国或美国维修,周期长、成本高。在西安设立维修基地,可以将服务响应时间从原来的两三周缩短至48小时以内,极大提升客户生产效率。”
此外,西安高新区近年来持续优化营商环境,出台多项针对半导体产业的支持政策,在土地、税收、人才引进等方面提供“一企一策”精准服务。同时,西安高校云集,微电子、机械工程等专业人才储备充足,可为项目运营提供技术人才支撑。
产业意义:降低供应链风险,提升本土配套能力
半导体关键耗材的维修与翻新,是晶圆制造过程中不可或缺的环节,直接关系到设备稼动率与产品良率。长期以来,国内高端晶圆厂商的高精度耗材维修高度依赖海外企业,存在周期长、成本高、技术封锁等痛点。BOBOO项目的落地,将有效填补西北地区在半导体耗材高端维修领域的空白,推动西安半导体产业链从“制造环节集聚”向“全链条服务化”延伸。
陕西省半导体行业协会专家指出,该项目不仅能为本地晶圆厂提供便捷的售后服务,更能带动上游耗材国产化替代进程。通过维修过程中的技术积累,有望逐步掌握耗材的设计参数与失效机理,为国内厂商自主研发提供参考。同时,项目运营将吸引一批精密加工、检测设备、材料供应等关联企业集聚,形成“维修+研发+制造”的协同生态。
未来展望:打造中韩半导体合作新标杆
西安高新区管委会相关负责人表示,BOBOO项目是继三星二期、三期项目之后,韩资企业在西安半导体领域的又一重要布局。高新区将全力保障项目建设和运营,协助企业对接本地客户资源,支持其申请高新技术企业认定及相关补贴。同时,以此为契机,进一步深化与韩国半导体产业链企业的合作,吸引更多设备维修、备件制造、技术服务类项目落地,助力西安建设全球半导体产业高地。
目前,项目已完成选址和前期规划,预计2024年第一季度正式开工建设,2025年第三季度实现投产运营。届时,西安高新区半导体产业的服务配套能力将迈上新台阶,为国内集成电路产业链供应链安全稳定提供坚实支撑。