近日,一场聚焦半导体关键材料国产化的重要会议在山东德州召开。来自全国半导体领域的专家学者、企业代表及行业机构负责人齐聚一堂,围绕溅射靶材的国产化攻坚展开深度探讨。与会人士一致认为,溅射靶材作为芯片镀膜的核心材料,在半导体制造中扮演着不可替代的角色,有望成为推动产业自主可控的“金铲子”。
会议聚焦:靶材国产化成为行业共识
本次会议汇聚了国内半导体材料领域的顶尖力量,包括多家龙头靶材企业、高校科研院所及下游晶圆厂代表。会议指出,当前全球半导体产业正经历深刻变革,而靶材作为芯片制造过程中的关键耗材,其国产化进程直接关系到我国半导体产业链的安全与稳定。
“靶材虽小,但技术门槛极高。”一位与会专家在发言中强调,“溅射靶材的纯度、致密度、晶粒尺寸等参数直接影响薄膜均匀性和芯片性能。长期以来,高端靶材市场被日本、美国等少数国家垄断,国产替代需求迫切。”
溅射靶材:芯片镀膜的“隐形冠军”
溅射靶材是物理气相沉积(PVD)工艺的核心材料,通过高能离子轰击靶材表面,使原子或分子溅射并沉积在晶圆表面,形成导电层、阻挡层或绝缘层。这一环节广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、功率器件及先进封装领域。
数据显示,每生产一块12英寸晶圆,大约需要消耗20-30个靶材。随着全球芯片制造产能向中国大陆转移,以及国内晶圆厂扩产加速,靶材市场需求持续增长。据行业研究机构预测,2025年全球溅射靶材市场规模将突破300亿美元,其中半导体领域占比超过60%。
国产化提速:多家企业已实现突破
近年来,在政策支持和市场需求双轮驱动下,国内靶材企业技术攻关取得显著进展。目前,我国已有多家企业在铝靶、铜靶、钛靶、钽靶等主流产品上实现量产,部分产品纯度达到99.9999%以上,并进入中芯国际、华虹半导体等头部晶圆厂的供应链。
与此同时,国产替代空间依然巨大。据测算,当前国内靶材自给率不足20%,尤其在高端钨钛靶、钴靶、镍铂靶等领域仍高度依赖进口。此次德州会议明确将“技术攻坚、产能提升、生态构建”作为下一阶段靶材国产化的三大方向。
机构观点:靶材有望成为半导体制造“金铲子”
多家券商及研究机构近期发布报告,认为溅射靶材有望成为半导体制造端的“金铲子”。所谓“金铲子”,是指在行业景气周期中,提供关键耗材或设备的厂商因下游扩产需求爆发而获得超额收益。
机构分析指出,靶材具有“耗材属性”和“技术壁垒”双重特征:一方面,晶圆厂一旦投产,靶材需定期更换,属于持续性消耗品;另一方面,靶材认证周期长达1-2年,客户粘性极强。因此,率先实现技术突破并进入主流供应链的企业,将在本轮半导体扩产周期中享受确定性增长。
半导体靶材相关标的梳理
根据公开信息及行业调研,目前A股及港股市场中涉及半导体溅射靶材业务的主要上市公司包括:
- 江丰电子(300666.SZ):国内溅射靶材龙头,产品覆盖铝、钛、铜、钽等多种靶材,已进入国际主流晶圆厂供应链,并在高纯金属材料领域持续扩张。
- 有研新材(600206.SH):旗下有研亿金为国内领先的高纯金属靶材企业,重点布局12英寸晶圆用高端靶材,产品覆盖逻辑、存储、先进封装等领域。
- 阿石创(300706.SZ):主营PVD镀膜材料,在半导体靶材领域已突破核心技术,并实现小批量供货,同时布局OLED显示靶材赛道。
- 隆华科技(300263.SZ):通过子公司四丰电子布局钼靶、铜靶等,产品主要应用于平板显示及LED,半导体靶材业务处于拓展阶段。
- 天山电子(未上市):专注于高纯钨钛靶、镍铂靶等高端产品,技术指标对标国际主流,部分产品已进入国内头部晶圆厂验证阶段。
此外,华特气体、金宏气体等气体企业也在靶材相关的高纯金属材料领域有所布局。
未来展望:产业链协同是关键
与会专家表示,靶材国产化不是单一企业的任务,需要上游高纯金属原材料、中游靶材制造、下游晶圆厂应用三方协同。当前,国内高纯铝、铜等原材料已基本实现自给,但在高纯钨、钽、钴等稀有金属领域仍存在短板。
德州会议期间,多家企业与科研院所签署了联合攻关协议,计划在原材料提纯、靶材制备工艺、回收利用等环节开展深度合作。业界预计,随着国家集成电路产业大基金三期的落地及地方专项政策扶持,靶材国产化将进入加速发展期。
可以预见,当更多中国企业掌握溅射靶材核心技术,我国半导体产业将真正握紧这把“金铲子”,在全球芯片制造价值链中占据更主动的位置。本报将持续关注靶材国产化进程的最新动态。